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MetriLiDAR MM-X微型激光干涉仪
MetriLiDAR MM-X 微型激光干涉仪，采用了自主研发的高度集成化的激光传感平台，将干涉仪的参考光路内置于干涉仪中，将光学相干光路等集成在单个光电芯片上，一步实现了激光干涉仪的线型测长、线性校准和定位功能。
基于激光干涉原理，激光干涉仪是公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，广泛应用在高端制造领域。挚感(苏州)光子科技有限公司研发的MetriLiDARMM-X系列微型激光干涉仪采用了自主研发的高度集成化的激光传感平台，以工业应用中最重要的线型标定为核心,将干涉仪的参考光路内置于干涉仪中，将光学相干光路等集成在单个光电芯片上，一步实现激光干涉仪的线型测长和标定功能，从而简化了干涉仪系统测试时的复杂程度。
产品优势：
• 测量距离：10cm+/-25% • 测量分辨率：0.01nm
• 测量精度：10nm（10cm测量距离）without ECU
• 测量最大动态移动速度：1.5m/s
• 最大采样率：5MHz
• 信号稳定性：<1nm
• Class I 人眼安全
基于激光干涉原理，激光干涉仪是公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，广泛应用在高端制造领域。挚感(苏州)光子科技有限公司研发的MetriLiDARMM-X系列微型激光干涉仪采用了自主研发的高度集成化的激光传感平台，以工业应用中最重要的线型标定为核心,将干涉仪的参考光路内置于干涉仪中，将光学相干光路等集成在单个光电芯片上，一步实现激光干涉仪的线型测长和标定功能，从而简化了干涉仪系统测试时的复杂程度。
产品优势：
• 测量距离：10cm+/-25% • 测量分辨率：0.01nm
• 测量精度：10nm（10cm测量距离）without ECU
• 测量最大动态移动速度：1.5m/s
• 最大采样率：5MHz
• 信号稳定性：<1nm
• Class I 人眼安全
