一款结合激光测振传感器和数字显微镜的一体化测量系统，内置数据处理单元和运算单元，没有其他控制主机，通过以太网连接上位机。上位机软件包含振动测试、分析功能和显微镜图像显示标定功能。包含X/Y可调节载物台和Z轴聚焦调节能力。在测振方面具有优秀的噪声性能，测量底噪小于5pm/√Hz，最大振动量可达20米/秒。也具备同步接口，支持外接同步测量。显微激光测振仪可广泛使用在微结构的振动特性测量，如显微材料测试、半导体领域测试和微机电测试领域。


产品优势：
• 影像指示测量位置 • 光学变焦、数字变焦，最大放大倍数450倍
• 1310nm 测量光+ 655nm 红光指示 • 测量光斑大小<100um 
• X/Y/Z 三维调节能力 • 振动检测分辨率 ≤1nm 
• DC~2.5MHz 测量范围 
• 支持同步触发测量 
• 最大振动量测量能力 20m/s